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LCD導電性粒子検査顕微鏡MX 8 RT
LCD導電性粒子検査顕微鏡MX 8 RTは研究級顕微鏡RXシリーズの新しい照明システムと光学システムを採用し、照明が均一で、結像がはっきりしている。
製品の詳細
LCD導電性粒子検査顕微鏡MX8RT採用画期的なダイキンのカメラフレーム設計により、8インチの超大ワークプラットフォームを搭載でき、革新的な機械構造を強固にし、専門市場のニーズによりよく対応することができます。
明場観察（透過）
5 W高出力LED、N.A.0.5集光レンズを搭載し、照明を透過して、LCDカラー液晶ディスプレイ、デバイスフレームエッジなどを観察することができる。
透過照明と反射照明は独立して制御され、同時に明るくても、単独で明るくてもよい。
LCD 10 X透過光
明視野観察（反射）
遠心数奇引張反射照明システムは、新たに設計された無限遠平場消色差長作動距離金相対物レンズを組み合わせ、低倍から高倍まで、明瞭、平坦、明瞭な高画質顕微鏡画像を得ることができる。
集積回路5 X明場集積回路100 X明場
簡易偏光観察
偏光子鏡及び偏光子プラグを照明の指定位置に挿入すれば、簡易偏光観察を行うことができる。偏光子検査には固定式と360°回転式の2種類がある。
PCB断面20 X偏光
ダークフィールド観察
暗場照明レバーを指定位置に引くと、暗場機能を使用することができ、物体表面の各種傷、不純物点、その他の微細欠陥を観察することができ、暗場機能はMX 8 Rモデルに限られている。
FPC 10 Xダークフィールド
DIC微分干渉観察
直交偏光に加えて、DICプリズムを挿入することで、DIC微分干渉ライニング観察を行うことができます。DIC技術を用いて、対物レンズ表面の微小な高低差に明らかなレリーフ効果を発生させ、画像のコントラストを大幅に高めることができる。
5 X、10 X、20 XはDIC専用に設計され、視野全体の干渉を一致させ、微分干渉効果は非常に優れ、高倍対物レンズDIC効果も比較的に良い。
導電性粒子20 X DICウエハ50 X DIC
製品寸法図
LCD導電性粒子検査顕微鏡MX 8 RT構成パラメータ
光学系 |
無限遠色差光学系 |
観察方法 |
明視野/暗視野/偏光/DIC |
かんそくとう |
30°傾斜、正像、無限遠ヒンジ三方観察筒、曈距離調節：50-76 mm、分光比：100：0または0：100 |
30°傾斜、反転、無限遠ヒンジ三方観察ヘッド、幅調整範囲50-76 mm、三段分光比：0：100または20：80または100：0 | |
接眼レンズ |
高視点大視野平場接眼レンズPL 10 X/25 mm、視度調整可能、単目盛十字分割板付き |
高視点大視野平場接眼レンズPL 10 X/26.5 mm、視度調整可能、単目盛十字分割板付き | |
対物レンズ |
明暗場半複消金相対物レンズ（5 X、10 X、20 X、50 X、100 X） |
無限遠長作動距離平場明暗場消色差金相対物レンズ（5 X、10 X、20 X、50 X、100 X） | |
コンバータ |
DICスロット付きシェーディングフィールド5穴コンバータ |
DICスロット付きシェーディングフィールド、明視野六孔変換器 | |
DICスロット付きの明場七孔コンバータ | |
フォーカシング機構 |
反射式フレーム、前置低手位粗微同軸焦点調整機構。粗調整ストローク33 mm、微調整精度0.001 mm、滑り防止のための調整緩み装置とランダム上限位置装置、100-240 V幅電圧システムを内蔵し、光輝度設定付き暗ねじりとリセットねじり |
シェーディングフィールド反射照明器、可変開口絞り付き、視野絞り付き、中心調整可能、明るい暗視野照明切替装置、カラーフィルタ付きスロットと偏光装置スロット | |
ステージ |
8インチ三層機械移動プラットフォーム、低ハンドX、Y方向同軸調節、プラットフォーム面積は525 mmx 330 mm、移動範囲：210 mmx 210 mm、クラッチハンドル付きで、全ストローク範囲内の高速移動に使用できる、ガラス基板、（反射用） |
反射照明システム |
シェーディングフィールド反射照明器、可変開口絞り付き、視野絞り付き、中心調整可能、明るい暗視野照明切替装置、カラーフィルタ付きスロットと偏光装置スロット |
しゃしんさつぞう |
0.5 X/0.65 X/1 Xカメラカートリッジ、C型インタフェース、フォーカシング可能 |
その他 |
偏光子プラグ、固定式偏光子プラグ、360°回転式偏光子プラグ、DIC微分干渉モジュール、反射用干渉フィルタ群、高精度マイクロメータ |
LCD導電性粒子検査顕微鏡撮影効果図：
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